Mô-đun phân phối hơi (VDM) của Brooks Instrument là một mô-đun khép kín, hiệu suất cao để phân phối hơi nước khử ion (DI) có độ tinh khiết cực cao với độ chính xác cao. Nó có thiết kế tiết kiệm điện năng cho phép tạo ra hơi có độ tinh khiết cực cao ở nhiệt độ thấp. VDM sử dụng kỹ thuật phân phối hơi đã được kiểm chứng và kết hợp với điều khiển kỹ thuật số tiên tiến và các tính năng chẩn đoán tích hợp trong một thiết bị nhỏ gọn, tiện lợi.
Được thiết kế cho quy trình thụ động hóa khắc kim loại dạng trụ hoặc dải tiên tiến, VDM mang lại độ chính xác được cải thiện, tốc độ dòng chảy cao hơn, thang đo điều khiển rộng hơn và tiêu thụ điện năng thấp hơn so với hệ thống bay hơi nhanh. Dựa trên các kỹ thuật đo lưu lượng khối lượng nhiệt đã được chứng minh, VDM tạo ra hơi ở trạng thái hơi không quá nóng, làm giảm tác động tích cực của nước khử ion, để cải thiện độ tin cậy và hoạt động sạch hơn.
ỨNG DỤNG CHÍNH
Quá trình ăn mòn post-metal trong quá trình sản xuất chip bán dẫn silicon
Quá trình ăn mòn strip-metal trong quá trình sản xuất chip bán dẫn silicon
Tạo ẩm độ tinh khiết cực cao trong môi trường cận khí quyển
TÍNH NĂNG CHÍNH
Thang đo : 3 slpm (DIW vapor)
Đo hơi nước trực tiếp với độ chính xác lưu lượng cực kỳ cao
Kết nối trực tiếp với nguồn cấp nước khử ion trong nhà
Hoạt động ở nhiệt độ thấp hơn (nhiệt độ không quá nóng)
Thiết kế tối ưu để xả và thoát nước
Kết nối giao tiếp kỹ thuật số EtherCAT
Hệ giao tiếp đồ họa BEST (Brooks Expert Support Tool)
THÔNG TIN SẢN PHẨM
Phân phối hơi cho thiết bị Plasma etch và thiết bị dải quang
canh.ans@ansvietnam.com
0938214498
0938214498
